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主營產(chǎn)品:實驗室檢測設(shè)備,離心機(jī),食品安全檢測設(shè)備,水質(zhì)分析,紫外可見分光光度計,液氮罐,萬分之一天平,離心機(jī)生物實驗室工程,移液器

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小型等離子裝置

小型等離子裝置

更新時間:2024-06-09

訪問量:1469

廠商性質(zhì):代理商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
PiPi小型等離子裝置介紹
高頻輸出 200W,反應(yīng)腔 W130×D130mm
經(jīng)濟(jì)型、較適合于研究開發(fā)用小型等離子清洗機(jī)。
特點
● 經(jīng)濟(jì)型等離子清洗機(jī)
● 簡單的等離子處理操作
● 等離子模式為RIE模式

PiPi小型等離子裝置介紹

高頻輸出 200W,反應(yīng)腔 W130×D130mm。

經(jīng)濟(jì)型、適合于研究開發(fā)用小型等離子清洗機(jī)。  

特點  

● 經(jīng)濟(jì)型等離子清洗機(jī)

● 簡單的等離子處理操作

● 等離子模式為RIE模式  

用途  

● 去除有機(jī)物

● 樹脂/膜等表面改質(zhì)

● 改善粘接效果

● 提高親水性

● 去除金屬氧化物

● 蝕刻  

等離子為氣體發(fā)生電離狀態(tài),形成帶有正電的離子及帶有負(fù)電的電子狀態(tài)。等離子為帶有高能量、反應(yīng)性非常高的狀態(tài),其容易與物質(zhì)表面進(jìn)行反應(yīng)的特性被廣泛使用。  

等離子RIE(Reactive Ion Etching 方式)

RIE是去除物體表面的有機(jī)物污垢,同時去除無機(jī)物的合適的清洗方式。

RIE方式為加速離子層中的陽離子,沖擊污染表面的物理性清洗方式。

PiPi小型等離子裝置規(guī)格  

型號

PM100

等離子方式

RIE模式

電極構(gòu)造

平行平板式

高頻輸出

Max200W

頻率

13.56MHz

電極尺寸

W130×D130mm

外形尺寸

W438×D520×H565mm

反應(yīng)氣體

Ar

填充氣體

N2或干燥空氣

反應(yīng)氣體流量計

流量計

控制方式

程序控制

電源

單相100V

真空泵(選配)

油泵 135L/min(50Hz)



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